台灣半導體廠的信賴之選：EMC線上濃度儀應用實績

在全球半導體供應鏈中，台灣扮演著至關重要的角色。對於製程中的每一滴化學品，精準的濃度控制都是確保良率與穩定性的基石。品測科技引進的美國EMC線上濃度儀，已在台灣多家指標性半導體及材料供應商的產線上，獲得了嚴苛環境下的成功驗證。

我們不僅提供儀器，更提供經過本地市場驗證的解決方案。以下是我們在台灣半導體產業鏈中的部分實際應用案例：

1. 發煙硫酸 (Oleum) & 濃硫酸 (H₂SO₄) 濃度監測

應用場景： 晶圓代工廠、化學品供應商的烷基化製程與純化過程。

挑戰：

90%以上的濃硫酸及發煙硫酸，其密度與電導率和濃度之間沒有線性關係，傳統量測方法極易失效。同時，其高度腐蝕性對儀器材質是巨大考驗。

EMC解決方案：

MPR E-Scan 折光儀利用折射率與濃度的線性關係，提供穩定且精準的即時數據。我們採用耐強酸的觸濕材質與特殊適配器，已在台灣客戶的產線上長期穩定運行，確保了化學品品質與製程安全。

2. 雙氧水 (H₂O₂) 濃度控制

應用場景： 半導體晶圓清洗製程 (RCA clean)，如SC-1 (APM) 混合液的關鍵成分。

挑戰：

H₂O₂的濃度直接影響清洗效率與晶圓表面的粗糙度。濃度不穩會導致金屬污染物去除不完全或過度蝕刻，直接衝擊產品良率。

EMC解決方案：

我們的線上濃度儀能即時監控H₂O₂混合液的濃度，確保其始終維持在最佳參數，協助客戶達成ppb等級的污染控制，最大化產線良率。

3. 異丙醇 (IPA) 濃度管理

應用場景： 晶圓乾燥、溶劑清洗製程。

挑戰：

IPA在晶圓乾燥過程中扮演關鍵角色，其濃度需要精準控制以達到最佳的表面張力，避免水印(watermark)的產生。

EMC解決方案：

MPR E-Scan 能精準區分IPA與水的混合比例，提供即時數據給控制系統，優化乾燥流程，顯著提升高階製程的良率。

立即與我們的技術專家聯繫，了解EMC如何為您的產線帶來更高的穩定性與效益。

請填寫下方表單，或直接撥打 +886-3-6582308 與我們的技術團隊聯繫。